攸关台积5nm先进制程布局的南科环境影响差异分析报告案昨（24）日通过专案小组审查。台积电表示，台积5nm制程将在明年动工，计划在2020年量产，迎战三星。
南科第一期和第二期环评分别于1996年及2003年通过，因台积电和联电更新半导体制程，须增加用水用电量，依规定须办理环差变更，环保署昨日召开南科环境影响差异分析报告专案小组第三次审查会议。南科管局长林威呈昨天出席作简报，包括台积电和联电都派代表参加，台积电副处长陈锵泽特地向环评委员及环团解释半导体制程为何快速更新。他说，半导体产业技术根据Moore‘s Law，持续推进缩小积体电路线宽，以制造更节能、更环保的产品，约每两年增加一倍电晶体数目，每18个月晶片效能提升一倍。 他举例，5nm晶粒是28nm的14%，且单位晶粒生产用电用水量分别是28nm的43%及37%，因5nm的产品技术门槛高，市占率及单位产值亦将随之成长。台积电和三星竞争早已从10nm订单往前延伸到未来新制程，台积必须进入5nm制程，若能通过环差审查，5nm制程预计明年就可动工。因更新制程，南科每日增加5万吨用水量、70万千瓦用电量。林威呈表示，南科承诺未来将采用1.25万吨的永康再生水、及园区2万吨工业回收再生水，将在南科环三用地上设置再生水厂。