电容式传感器是将被测量的变化转换成电容量变化的一种装置。电容式传感器具有结构简单、分辨力高、工作可靠、动态响应快、可非接触测量,及能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作等优点,并且已在工农业生产的各个领域得到广泛应用。
微小电容测量电路必须满足动态范围大、测量灵敏度高、低噪声、抗杂散性等要求。电容式传感器输出的电容信号往往很小(1fF~10 pF),又存在传感器及其连接导线杂散电容和寄生电容的影响,这对电容信号的测量电路提出了非常高的要求,如此微小的电容信号的测量成为电容式传感器技术发展的瓶颈。
本文提出一种恒流源充电法对两个微小电容进行充电检测的方法。本设计仅由单片机和少数芯片即可以实现电容的高精度,高频率测量。由于采用了差动式测量,本设计可以有效地减小非线性误差,提高传感器灵敏度,减少干扰,减少寄生电容的影响。若选用高性能模拟开关能大大减小电荷注入效应的影响。在检测0~5 pF的实验中,采样频率可以达到100 kHz,有效精度位最高可达12位。
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至此,一次完整的采样过程结束,充放电时序见图2。
图2 充放电时序图
在整个过程中,单片机要产生一个频率为100 kHz,占空比为90%的PWM波,用以控制K1、K2的通断,还要以(T1+T2)的周期完成AD变换和数据存储。其中,T1的最大值小于充电时间,T2的最小值大于放电时间。
2.1 恒流源的设计
恒流源是整个测量系统模拟部分的重要组成部分,其稳定性直接决定了系统测量的精度。本设计中的两个恒流源要求输出电流相等,具体设计如图3。
图3 恒流源原理图
故得:
设:
经过运算可以得到:
因Vi是采用单片机AD转换的标准电压1.5 V,UL≤1.5 V,故n值、RL与Rs的比值,直接影响恒流源电流的输出,只要保证UL小于1.5 V时,该电路输出电流为恒定值,与负载电阻RL没有关系。
放大电路采用以仪表放大器INA128为核心的仪表放大器。该放大器在放大100倍时带宽可达200 kHz,完全满足了设计的要求。
C1和C2两个电容由相应的恒流源在相同的时间内进行充电,两电容充电电压差由INA128进行放大,并送入单片机进行采样存储。图4为充放电标准信号与INA128放大后的结果。
图4 标题信号与输出放大
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