电子管是沿着二极管→三极管→四极管→五极管的顺序发明出来的。
    二极管：爱迪生发现了电灯泡灯丝发射电子的“爱迪生效应”。1904年，英国人弗莱明受到了“爱迪生效应”的启发，发明了二极管。
    三极管：1907年，美国的福雷斯特发明了三极管。当时，真空技术尚未不成熟，三极管的制造水平也不高。但在反复改进的过程中，人们懂得了三极管具有放大作用，终于拉开了电子学的帷幕。
   振荡器也从上面所讲过的马可尼火花装置发展为三极管振荡器。三极管有三个电极，阳极，阴极和设置在二者之间的控制栅极，这个控制栅极是用来控制阴极所发射的电子流的。
   四极管：1915年，英国的朗德在三极管的控制栅极与阳极之间又加了一个电极，称为帘栅极，其作用是解决三极管中流向阳极的电子流中有一部分会流到控制栅极上去的问题。
   五极管：1927年，德国的约布斯特在阳极与帘栅极之间又加了一个电极，发明了五极管。新加的电极称为抑制栅。加入这个电极的原因是：在四极管中，电子流撞到阳极上时阳极会产生二次电子发射，抑制栅就是为了抑制这种二次电子发射而设置的。

   此外，1934年美国的汤姆森通过对电子管进行小型化改进，发明了适用于超短波的橡实管。
   管壳不用玻璃而采用金属的ST管发明于1937年，经小型化后的MT管发明于1939年。