1,, 工作电流是否正常。是否发热
2.。根据电路的原理推理MCU会有哪些控制量输出，然后用示波器看有没有。
3.。一般的单片机,RC震荡器起振后会在OSC引脚上出现正弦波形。
楼主应该说一下MCU的型号。

1、示波器：观察振荡器是否工作——波形为正弦波？不工作，一般是晶体损坏-换
2、万用表：检查ALE端的电压一般为电源的一半，为0或H都说明MCU没工作
3、MCU一般不会损坏，多数情况是晶振不工作。但过压和反压均可以直接导致其损坏。
4、损坏的MCU不能再编程——这是最简单的判断方法。
5你可以试一试用示波器看89c51的ALE 你可以试一试用示波器看89c51的ALE引脚是否有波形，并且是否为晶振的1/6。也可编一段小程序写到89c51，让某一引脚输出一定频率的脉冲信号，用逻辑笔或示波器检查该引脚是否有脉冲信号，如有脉冲信号则芯片没有问题；否则芯片肯定坏了（当然你的程序一定要正确）。

楼上都是正解。呵呵

试用一下