天线效应的原理及消除【转帖】

• weixin_43679759 发布于
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      IC芯片中金属线或者多晶硅(polysilicon)等导体，就象是一根根天线，当有游离的电荷时，这些天线便会将它们收集起来，天线越长，收集的电荷也就越多，当电荷足够多时，就会放电。       IC现代工艺中经常使用的一种方法是离子刻蚀（plasma etching），这种方法就是将物质高度电离并保持一定的能量，然后将这种物质刻蚀在晶圆上，从而形成某一层。理论上，打入晶圆的离子总的对外...